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TOKYO ELECTRON LTD.(简称TEL)成立于1963年,是全球最大的半导体制造设备、液晶显示器制造设备制造商之一。其产品主要包括:薄膜太阳能电池成膜设备、涂布/显像设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备、CVD、湿法清洗设备及测试设备。 TEL集团在日本、美国、欧洲、台湾、韩国及中国等地都建立了自己的网点,目前在全球已拥有近30个子公司和80多个分支机构。 在全球范围内进行多方位的研究、开发,对日益增长的客户提供最完备的支持。
为了进一步完善全球经营战略,TEL集团于2002年4月在中国上海设立了分公司,成为最早进入中国市场的半导体制造设备供应商之一。目前在中国从事200mm芯片制造的企业,如上海华虹,中芯国际,宏力半导体等大公司内,TEL的设备都有很大份额。TES也正在积极致力于中国300mm芯片生产线的建造,在中芯国际北京及海士力无锡都留下了TES人努力奋进的身影。目前,TEL在中国注册有两家法人公司,东电半导体设备(上海)有限公司和东电电子(上海)有限公司,分别作为TEL在中国的物流中心和服务培训中心。东电电子的新办公大楼位于张江高科技园区内,占地19000m2。并分别在北京,天津,苏州,无锡开设了分公司。 TOKYO ELECTRON凭借完善的技术经验和创新的思维方式赢得了世界的信赖。愿你和TES人共建美好的明天!
随着平面液晶显示产业在中国的迅速扩展和世界领先半导体芯片制造商和本土半导体芯片制造商在中国持续的设备投资和技术升级,TEL正在江苏省昆山市筹建东电光电半导体设备公司,将从事设计、研发、生产、安装、调试、改造、维修电子专用设备(新型平板显示器件专用生产设备、半导体和集成电路专用生产设备)、太阳能电池生产专用设备以及相关配套的设备、零部件、软件。
产品列表
CVD金属/介电材料:
Trias e+ W
Trias e+ TiTiN
沉积:
Trias e+ High-k CVD
Trias e+ SPAi
外延设备/EPI反应器:
Probus-SiC
晶圆清洗系统:
NS300+
NS300+ HT
CELLESTA -i
CELLESTA +
Certas WING
EXPEDIUS -i
EXPEDIUS +
刻蚀/去胶/灰化:
Tactras
UNITY Me
Telius SP
沉积:
TELFORMULA IRad
TELINDY PLUS
TELFORMULA
光刻:
CLEAN TRACK ACT M
CLEAN TRACK ACT 12 SOD / CLEAN TRACK ACT 8 SOD
CLEAN TRACK ACT 12 / CLEAN TRACK ACT 8
CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS i+
CLEAN TRACK LITHIUS Pro /LITHIUS Pro-i
CLEAN TRACK LITHIUS Pro V /LITHIUS Pro V-i