我中心于1987年利用世界银行贷款购进了H—600透射电子显微镜和KYKY—1000扫描电子显微镜,至今已运行了17年了。近年来经过管理人员重新调配,仪器经过重新检修、调试,目前两台电镜基本工作正常。现将电镜近期出现的两例故障现象的分析与维修过程作一总结,以供同行们参考。

　　故障现象(1)

　　日立H—600透射电子显微镜开机正常运行约十几分钟后,出现高压和灯丝电流跳闸,经观察,照相室真空指示灯灭,检测真空:照相室和镜筒真空下降、电子枪室真空指示保持原值。机器继续运行,约十几分钟真空正常后机器又开始正常工作,过十几分钟后重新重复以上故障。

　　故障分析与排除

　　日立H—600透射电子显微镜真空系统如图1。

　　该真空系统使用2个独立的真空序列:

　　第一泵(RP1):观察室、照相室。

　　第二泵(RP2):电子抢、镜筒、样品室。

　　从故障现象上看,是由于照相室的真空下降,导致保护动作切断高压和束流。这可能有两种原因造成:

　　(1)保护电路故障造成误动作,经查电路部分工作正常,先排除电路故障的可能性。

　　(2)真空系统故障:从故障现象分析,很可能是第一泵(RP1)真空系统中的扩散泵(DP1)内扩散泵油变质或减少,造成扩散泵效率降低,达不到高真空的要求。

　　考虑到本机已运行十几年,尚未更换过扩散泵油,故首先清洗扩散泵,更换扩散泵油。拆洗扩散泵时,发现本机扩散泵的底部呈槽型形状(有的扩散泵底部为乎底形状),槽与槽之间有数孔连接油路(见图2)。由于底部积碳严重,多数孔洞被堵,影响油路畅通,这可能是导致扩散泵效率降低的原因之一。

　　清洗扩散泵:首先用螺丝刀将底部槽内的积碳刮干净,然后将丙酮倒入槽内,用柳条裹棉花清洗扩散泵底部凹槽,特别注意清除槽内孔洞边的积碳,经反复清洗,确认无积碳堵塞孔洞后,重新装配好清洁过的扩散泵部件并更换新扩散泵油。

　　经清洗、检修扩散泵后,重新开机启动,故障排除,机器工作一切正常。

　　故障现象(2)

　　KYKY—1000扫描电子显微镜开机后发现真空抽不上,检测前级管道内真空(TCl),真空表无指示。扫描电子显微镜真空系统如图3。

　　故障分析与排除

　　由于前级管道内真空抽不上,基本判断故障在管道或管道外(主机外部设备),而从机械泵运转的声音判断,似乎一直在抽大气,用手指检查机械泵上的电磁阀(放气阀1)放气口,手指被吸住,且机械泵运转声音立即改变,断定是机械泵电磁阀未动作而引起的故障。

　　进一步检查发现是供放气阀1直流电源整流电路中的整流二极管D1和续流二级管D5短路引起保险管RD烧断(见图4)。

　　至使放气阀无电源不能正常工作。更换二极管D1、D5和保险管RD后,电镜工作恢复正常。

　　作者：黄俊民,曲跃文(福建师范大学实验中心,福建,福州350007)