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新型工业扫描电镜(SEM)的特色突破

来源:电子发烧友 作者:华仔 浏览:130

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摘要: 本文简介新型工业扫描电镜(SEM)的性能指标、功能特点和典型应用举例,着重描述从整体设计到关键部件、从指导理念到制造层面的特色创新。...

工业扫描电镜作为微观世界“眼见为实”的仪器,在近二十年发展历程中性能逐步提高,却仍有空间进行0到1的原创革新。 工业电镜为我国新型产业从“跟跑、并跑”跨越到“领跑”提供工具,起到举足轻重的作用。

本文简介新型工业扫描电镜(SEM)的性能指标、功能特点和典型应用举例,着重描述从整体设计到关键部件、从指导理念到制造层面的特色创新。

一、性能指标

超高速、分辨率和适用性是现代电镜的三大要素。国产工业扫描电镜成像速率实现单通道100M像素/秒。二次电子(SE)和背散射电子(BSE)同步成像,可达2x100M像素/秒。 摄像能力达2x200帧/秒@512x512, 或2x60帧/秒@1024x1024, 两倍于视频高清成像。 电镜不仅可在1.2秒内双通道大范围快速生成高清图像, 还可观测捕捉样本动态变化过程。

国产工业扫描电镜的主要性能参数列表如下:

新型工业扫描电镜(SEM)的特色突破

表一  国产工业扫描电镜的主要性能指标

图一展示的是两台电镜在同等条件下背散射信号(BSE)对果蝇脑神经细胞切片扫描生成的图像, 侧重对成像速率作一比较。 在保证二者都能观测到该生物组织清晰图像的情况下,右图为某国外知名品牌扫描电镜的图像,采集8000像素X6000像素的超高清图像,成像时间为43500ms (890ns/pixel), 束流1.5nA。 左图为国产工业扫描电镜对同样样品采集的8000像素X8000像素超高清图像,成像速度412ms (6.13ns/pixel), 束流1.5nA。国产工业电镜快了一百倍。

新型工业扫描电镜(SEM)的特色突破

图一  同等条件下不同SEM对某一生物组织扫描成像速率比较

型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67
型号/产品名 平均报价 涨跌幅
STM8S003F3P6 1.55 1.12%
74HC573D 0.64 2.86%
2N7002 3.66 400.00%
STM32F103C8T6 7.47 27.87%
1N4007 1.58 0.00%
ADM2483BRWZ 8.31 31.36%
SHT10 16.21 5.88%
78L05 10.55 66.67%
LM358 118206.75 16.67%
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