PWM电路 

PWM(PWM:Pulse Width Modulation)电路即脉冲宽度变调电路除了可以监控功率电路的输出状态之外，同时还提供功率元件控制信号，因此广泛应用在高功率转换效率的switching 电源、马达Inverter、音响用D 极增幅器、DC-DC Converter、UPS等各种高功率电路。 

Pwm电路的控制原理　　

基本的脉宽调制控制电路由电压—脉宽转换器和开关功率放大器组成．其组成原理如图 4-5-1所示。电压一脉宽转换器的核心是运算放大器（比较器）。运算放大器A输入信号有 调制信号Tu （其频率为主电路所需的开关调制频率）、负偏置电压Pu、控制电压信号Cu。

由于运算放大器为开环，因此，该比较器的输出仅取决于输入方向的两个极限位（取决于）（PTcuuu的正负），此输出经开关功率放大器输出到触发脉冲列逆变器。如图4-5-1所示，调制电压Tu为锯齿波，当控制电压Cu》PCuu时，运算放大器的输出为低电平，如图（b）所示；反之，当Cu《 PCuu时，运算放大器的输出为高电平，（如图（c）所示）。 

PWM电路的特点　　

PWM电路的特点是频率高、效率高、功率密度高、可靠性高、然而由于开关器件工作在高频通断状态，高频的快速瞬变过程本身就是一电磁骚扰源，它产生的EMI信号有很宽的频率范围，又有一定的幅度。若把这种电源直接用于数字设备，则设备产生的EMI信号会变得更加强烈和复杂。　　

PWM电路的作用　　

PWM 电路主要功能是将输入电压的振幅转换成宽度一定的脉冲，换句话说它是将振幅资料转换成脉冲宽度。一般switching 输出电路只能输出电压振幅一定的信号，为了输出类似正弦波之类电压振幅变化的信号，因此必需将电压振幅转换成脉冲信号。　　

高功率电路分别由PWM 电路、Gate 驱动电路、Switching 输出电路构成，其中PWM 电路主要功能是使三角波的振幅与指令信号进行比较，同时输出可以驱动功率MOSFET 的控制信号，透过该控制信号控制功率电路的输出电压。     

近日，至纯科技的湿法槽式清洗设备已获得 6 台的量产订单，客户是中芯国际和万国半导体，这次的六台设备都是槽式设备，主要是适用于半导体厂商8寸线。至纯科技表示， 9 月下旬可交付２台，乐观估计今年四季度或明年一季度确认收入。公司正在开拓单片清洗设备的客户需求。

至纯科技迎来了浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券等20多家投资机构调研。至纯科技表示，2018上半年，公司在半导体和光伏行业合计的销售收入占比超过了 88. 3% 。其中，半导体行业的收入占比高达到了69. 4%，成为公司的核心业务。 

从清洗设备的配备量来看,目前以4万片产能的产线为例,一般情况下,8寸线匹配50台设备,12寸线国内匹配70台设备左右,包括槽式和单片,国外有的厂商能够达到120台清洗设备水平。在一个Fab厂清洗机需要2个亿美金。

随着下游对良率要求高,会大量采用单片式,但是单片式清洗效率低,单片式清洗设备根据腔体数量不同,清洗效率也不同,一个腔体一次只能清洗一片。未来随着良率越来越高,单片式需求会越来越大。我们公司通常根据客户具体要求来提供清洗机。 

目前市面上最便宜的单片清洗设备是两个腔体的50-60万美金,而6-8个腔体的单片式清洗设备的价值大概300-400万美金。槽式价格100-200万美金市场价格。 

国外单片式清洗设备已经发展到12个、16个腔体了,腔体多对应的附属设备的介质供应也多,需要满足智能化、软件控制、压力均等和清洗后的存放等需求。设备选择还是更看重良率和技术更新。