低温泵在现在的生活中使用也是很广泛的，很多人可能没有听过说低温泵，低温泵是利用低温表面冷凝气体的一种真空泵，优点是抽气功率最大，今天就一起来看看低温泵工作原理。

低温泵工作原理

低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法。

低温泵能够达到极高真空(10-11Pa)，有排气速度快、无油和安装方向不受限制等优点。

低温泵的一级冷台上，设置屏蔽罩和挡板，温度维持在80K。二级冷台维持在15K，上面设置低温罩和活性炭吸附剂。

水蒸气凝固在80K屏蔽罩和80K挡板上;氮气、氧气和氩气凝固在15K低温罩上;氢气、氦气和氖气被吸附在15K低温罩内侧的吸附剂上。低温泵可以对所有气体排气，但是如果吸附的气体量过多，则排气速度降低。这时，需要将低温泵加热，放出吸附的气体后，重新使用。

低温泵工作原理

低温泵特性

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温泵工作原理

低温泵是一种利用温度极低的冷却表面(≤77K)的冷凝作用,把气体从系统内部排除的真空泵。60年代以来,低温抽气在真空的获得和应用中有了越来越广泛的应用。低温泵是一种清洁的真空泵。因为低温介质只是一种对泵的抽气表面起冷却作用并在封闭容器中存贮或循环的冷剂,因而不与真空空间发生任何接触。这一特点对于某些要求清洁无油的真空系统来说是至关重要的。低温泵对大多数气体都能获得极低的分压和极高的抽速。当低温泵在液氦介质下工作时,还具有很大的实际抽气能力和抽气的无选择性(氦除外)等优点。

低温泵在半导体和集成电路的研究生产中、分子束研究等领域中有着至关重要的作用，它是一种清洁的真空泵，以上就是关于低温泵工作原理的全部内容。