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半导体行业观察第一站
近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称"中微公司",上交所股票代码:688012)推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex? CW。
标签: 薄膜沉积设备
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