摘要： 据日经BP社报道，在ICSCRM 2007（2007碳化硅及其相关材料国际会议）上，众多与会者异口同声地赞叹碳化硅衬底厂商巨头美国Cree发布的新成果。Cree已开始供应无微管（中空贯通缺陷）的直径为100mm（4英寸）的SiC衬底。由于元件厂商的大部分生产线支持直径100mm以上的晶圆，所以直径100mm以上的高品质碳化硅衬底备受期待。 　　Cree开始供应的是n型4H-SiC衬底。强调实现了