摘要： 本文介绍了在斜置式方形探针测试系统中，如何应用图像识别技术来判定探针在微区的位置，进而控制步进电机，使探针自动定位成方形结构，从而保证测试的准确性，并对测试结构对测试结果的影响，进行了初步论述。 电机 IRs)+exp(-2pV2/IRs)=1 (1)由式(1)得：RS= (2)对于方形四探针，当其呈严格正方形时，如图1所示。根据物理基础和电学原理可知：V34=f3-f4=ln (2