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光栅角位移传感器,是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。它可以将位移量和位移方向通过信号输出的方式反馈出来。
为了减少测量产生的误差,现已形成光栅角位移测量系统。
光栅角位移测量系统利用光栅副产生光信号的原理由光栅角位移传感器感受角位移量并用光栅数显表显示其值的角度测量系统。测量系统应具有两个特性:一、电磁兼容能力,受干扰时示值变化量应不大于一个脉冲数;二、可靠性测量系统的平均无故障工作时间(MTBF)应不少于3000h。
在国内20世纪80年代已经可以制造很精密在光栅了,而现在由于很多精密仪器或者设备都在使用精密光栅,所以国内在光栅位移传感器这方面做在还是比较先进的。