陶瓷基片 更新时间：2011-05-23 14:22

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陶瓷基片，又称陶瓷基板，是以电子陶瓷为基的，对膜电路元件及外贴切元件形成一个支撑底座的片状材料。

陶瓷基片主要特点

• 陶瓷基片具有耐高温、电绝缘性能高、介电常数和介质损耗低、热导率大、化学稳定性好、与元件的热膨胀系数相近等主要优点，但陶瓷基片较脆，制成的基片面积较小，成本高。

陶瓷基片分类

• 按照陶瓷基片应用领域的不同，又分为HIC（混合) 陶瓷封装。

  从20 世纪60 年代至今，美国、日本等 发达国家相继推出叠片多层陶瓷基片封装材料和工 艺，陶瓷基片已经成为世界上广泛应用的几种高技术 陶瓷之一，而且日本是世界上最大的陶瓷基片生产国， 约占全球50[%]。目前，研究应用最成熟的陶瓷基片 材料是Al2O3 基片，它具有良好的电气性能和力学性 能。除了Al2O3 之外，还有A1N、BeO、Si3N4 和SiC 等。

电子封装陶瓷基片材料的特点

• 随着微电子技术的进步，微加工工艺的特征线宽已达亚微米级，一块基板上可以集成106～109个以上元件，电路工作的速度越来越快、频率越来越高，这对基板材料的性能提出了更高的要求。作为混合集成电路（HIC）和多芯片组件（MCM）的关键材料之一，基板占其总成本的60％左右。陶瓷基板发展的总方向是低介电常数、高热导率和低成本化。

  目前，实际生产和开发应用的陶瓷基片材料有Al2O3、AlN、SiC、BeO、BN、莫来石和玻璃陶瓷等。其中，BeO和SiC热导率很高（&sup3;250W/m.K），但BeO因具有毒性，应用范围小，故产量低；SiC因体积电阻较小（<1013W·cm）、介电常数较大（40）、介电损耗较高（50），不利于信号的传输，且成型工艺复杂、设备昂贵，故应用范围也很小；AlN陶瓷基片是新一代高性能陶瓷基片，具有很高的热导率（理论值为319W/m.K，商品化的AlN基片热导率大于140W/m.k）、较低的介电常数（8.8）和介电损耗（～4×104）、以及和硅相配比的热膨胀系数（4.4×10－4/℃）等优点，但由于成本居高，一直没能大规模应用；Al2O3陶瓷基片虽然热导率不高（20W/m.K），但因其生产工艺相对简单，成本较低，价格便宜，成为目前最广泛应用的陶瓷基片。