多通道石英晶体监测仪 更新时间：2011-05-28 21:10

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多通道石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精确的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1?/s 还是0.01?/s的速率显示模式.另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。

多通道石英晶体监测仪的特点

• 1、RS-232 接口, USB 或以太网可选

  2、双通道（标准型），四通道可选

  3、高精度: 0.03Hz at 10个读数/s

  4、沉积速率/膜层厚度模拟输出

多通道石英晶体监测仪的参数

• QCM传感器输入：标准型: 2;路  可选: 4路

  频率范围 ：1-10 MHz

  频率分辨率：标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec、 可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec

  频率稳定性：在 0? to 50?C，总计± 2 ppm

  可选择的测量周期：0.10 to 2 sec (每级增量0.05 sec)

  测量选择 ：1 to 20 readings

  存储膜系：99

  模拟输出：2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚

  数字输入/输出： 2 路数字输入, 4路继电输出

  数字接口：标准型: RS-232 、 可选: USB or 以太网

  电源：0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W

  CE 标识：Class 1 equipment、 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD

  安装支架： 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

  重量： 2.7 Kg (6 lbs)

  Windows软件(included)：提供远程安装和操作指导，数据录入功能

多通道石英晶体监测仪的使用方法

• 开启速率和膜厚测量，只需先按住Zero键以清除上次读数，然后关闭，打开源和传感器档板。宽大明亮的开始亮灯。在镀膜过程中，操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先，选“program”键，进入菜单，然后，旋转拨针钮，这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示，而设定的数据可以在辅助界面中找到。