摘要： 常见问题原因解决方法过显影或显影不足显影点位置不对。调整显影速度、温度。部份显影不足或过显影消泡剂补充不足、后段清洗问题。补充消泡剂检查清洗段。干膜质量差。更换干膜。储存时受到其它光源的影响。改善储存条件。曝光过度。使用曝光尺检查曝光强度。底片问题。使用仪器检查底片的透光率。真空不良引起底片与基板接触不好产生虚光。检查设备真空及框架的气密性。显影液失效。更换显影液。显影时间短，喷嘴堵塞，压力过低