摘要： 半导体气体传感器是采用半导体材料的气敏元件与测量气体相接触，其性质发生变化，从而检测出气体类别和浓度。 半导体气体传感器按测量值的变化可分为电阻式和非电阻式两种类型。电阻式是敏感材料与气体相接触时阻值会改变，电阻式可分为表面控制型传感器和体控制型传感器。非电阻式是由于吸附和反应，利用功函数直接或间接对气体进行检测，非电阻式可