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摘要: 3M公司与SUSS MicroTec达成协议推广3M用于3D封装的超薄晶圆临时键合的Wafer Support System(WSS)设备。根据该份非排他协议,SUSS成为3M WSS设备的供应商,并将在其XBC300、CBC300晶圆键合机上配置3M的液态紫外固化粘接剂和光-热转换涂层材料。双方将紧密合作以满足用户的需求。 3M WSS利用临时性晶圆键和制程和材料来支持3D封装中的晶圆减薄。3
3M公司与SUSS MicroTec达成协议推广3M用于3D封装的超薄晶圆临时键合的Wafer Support System(WSS)设备。根据该份非排他协议,SUSS成为3M WSS设备的供应商,并将在其XBC300、CBC300晶圆键合机上配置3M的液态紫外固化粘接剂和光-热转换涂层材料。双方将紧密合作以满足用户的需求。
3M WSS利用临时性晶圆键和制程和材料来支持3D封装中的晶圆减薄。3M利用独创的紫外固化粘接剂把晶圆与玻璃载体键合,在晶圆研磨过程中提供牢固的支撑。之后,3M的光-热转换涂层可实现低应力、室温下直接把减薄后的晶圆从载体上脱离。减薄的晶圆全程得到支撑以减少翘曲、应力和制程的复杂度。
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型号 | 厂商 | 价格 |
---|---|---|
EPCOS | 爱普科斯 | / |
STM32F103RCT6 | ST | ¥461.23 |
STM32F103C8T6 | ST | ¥84 |
STM32F103VET6 | ST | ¥426.57 |
STM32F103RET6 | ST | ¥780.82 |
STM8S003F3P6 | ST | ¥10.62 |
STM32F103VCT6 | ST | ¥275.84 |
STM32F103CBT6 | ST | ¥130.66 |
STM32F030C8T6 | ST | ¥18.11 |
N76E003AT20 | NUVOTON | ¥9.67 |