图：TeraVicta开发的基于MEMS的RF开关

手机用RF MEMS风险公司——美国TeraVicta Technologies已于2008年2月停止了活动。该公司曾经计划利用自主技术开发基于MEMS执行器的RF开关，并把该开关配备于LSI测试仪和手机。可谓是RF MEMS行业的先驱。

该公司之所以被迫停止活动，是因为在“系列C”的资金征集活动中，当初预定投资的风险基金取消了投资。此前，TeraVicta为系列C筹集了一千数百亿日元规模的投资。其中，除了在系列B之前就进行出资的投资者之外，该公司还预定向新投资者筹集资金。但是，受到次贷问题引发的金融收缩的余波干扰，新投资者紧急取消了投资。出于这一决定，TeraVicta只得选择解散。

这对MEMS行业会造成怎样的冲击呢？MEMS专业刊物《MEMS Technology Report》分析到：“对于RF MEMS业务而言，这明显是坏消息”。另一方面，RF MEMS很可能成为新一代手机必不可少的核心元件。NTT DoCoMo和芬兰诺基亚等手机巨头都在全力开展RF MEMS的研究。在《日经微电子》于5月15～16日举办的研讨会“MEMS International 2008”上，NTT DoCoMo和诺基亚预定就RF MEMS相关的最新技术进行演讲。