电子产业
数字化服务平台

扫码下载
手机洽洽

  • 微信小程序

    让找料更便捷

  • 扫码下载手机洽洽

    随时找料

    即刻洽谈

    点击下载PC版
  • 华强电子网公众号

    电子元器件

    采购信息平台

  • 华强电子网移动端

    生意随身带

    随时随地找货

  • 华强商城公众号

    一站式电子元器件

    采购平台

  • 芯八哥公众号

    半导体行业观察第一站

半导体视觉传感器及PLC一体化控制系统

来源:<a href='http://bbs.hqew.com/viewthread.php?tid=544710' target='_blank'>pengjunxiao</a> 作者:华仔 浏览:1732

标签:

摘要: 半导体公司采用欧姆龙的PLC和视觉传感器通过对拉升零界点直径的控制达到其工艺要求。视觉传感器采用F160-10E的控制器及F150-S1A普通型摄像机,其F150-S1A普通型摄像机设置于炉体上方,镜头对准于零界点直径(由于零界点直径亮度较强,明暗对比度明显,因此无需加光源,若对比度不明显需加光源)。通过摄像机对物体的观察把数据传入F160-10E控制器特定的数据区内,然后经串行RS232通信线把数据传入PLC的数据区,其通讯协议为HostLin

半导体公司采用欧姆龙的PLC和视觉传感器通过对拉升零界点直径的控制达到其工艺要求。
视觉传感器采用F160-10E的控制器及F150-S1A普通型摄像机,其F150-S1A普通型摄像机设置于炉体上方,镜头对准于零界点直径(由于零界点直径亮度较强,明暗对比度明显,因此无需加光源,若对比度不明显需加光源)。通过摄像机对物体的观察把数据传入F160-10E控制器特定的数据区内,然后经串行RS232通信线把数据传入PLC的数据区,其通讯协议为Host Link协议进行数据传送。


PLC和视觉传感器的通讯格式要一致。
若无需从传感器中读取数据,可直接使用外部的开关量来进行对视觉传感器对其进行控制。


海纳单晶炉控制主要分为手动控制,真空系统,回路控制,CCD直径。手动控制可分为晶转(round/min),晶升(mm/hour),埚升(mm/hour),埚转(round/hour)。
晶转由伺服电机+编码器+伺服驱动(200W)进行恒定速度控制,埚转由伺服电机+编码器+伺服驱动(200W)进行恒定速度控制,晶升由伺服电机+编码器+伺服驱动(200W),编码器每转六圈,其晶升就上升一格(1厘米)。埚升由伺服电机+编码器+伺服驱动(200W),编码器每转六圈,其埚升就上升一格(1厘米)。真空系统:显示炉内压力,流量阀流量。
回路控制分为温度控制,直径控制,升温控制,埚比控制。
温度控制:当打到手动时,电加热管的功率大小由设定功率来控制,即电加热管由设定的功率来运行。若打到自动时,功率的大小由实际温度来控制,即当温度上升到设定温度时,其加热管就由该温度下的功率运行。
直径控制:当打到手动时,晶升速度有晶升速度设定值来控制,即晶升速度由设定晶升速度来运行,若打到自动时,晶升速度由实际直径来控制,即当视觉传感器反馈回来的直径达到设定的直径时,其晶升速度就由该直径下的速度进行运行。
升温控制:自动运行下,晶升实际值和晶升期望值(根据工艺计算出来的理想值)来进行比较。
埚比控制:通过对埚比的变化来进行对埚升电机的控制,从而达到工艺要求,埚升=晶升*埚比。
CCD直径:可进行对视频的转化功能,从中可选用红外线传感器或视觉传感器。
通过视觉对直径(精度0.1)的数据记录,然后反映到PLC中进行工艺上的拉升控制。

型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67