mems是什么意思？MEMS全称是Micro  Electromechanical  System，mechanical  System，微机电系统。大小不超过几毫米的高科技设备，其内部结构一般是微米或纳米规模的独立智能系统，由传感器、执行器和微能量的三个主要部分组成。

微机电系统涵盖物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程、生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学、微流体技术等开拓了广泛的用途，包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微电机、微泵、微振荡器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺、MEMS湿度传感器等集成产品。

MEMS的系统优势

微机电系统是微电路 和微机器根据功能要求集成在芯片上，大小通常为毫米或微米级，自80年代中后期崛起以来增长非常迅速，被认为是继微电子之后对国民经济和军事有巨大影响的另一个技术领域。

微机械系统体积小，重量轻，功耗低，耐久性强，价格低廉，性能稳定。它的出现和发展是科学创新思维的结果，使微观规模制造技术的进化和革命成为可能。

微电子机械系统最初常用于汽车安全气囊，后来以MEMS传感器的形式广泛应用于汽车的各个领域。随着MEMS技术的发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小型高性能MEMS产品的需求激增，MEMS产品的身影出现在电子消费、医疗等领域。

MEMS系统功能特点，可以将不同功能、敏感方向或运动方向的多个传感器或执行器集成在一起，也可以将微传感器阵列、微执行器阵列甚至具有多种功能的设备集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子元件的集成，可以制造出稳定性和可靠性高的MEMS。