回风口是空调、净化工程中必须给予重视的装置。在工程中由于其造价占用比例小、结构简单，很难引起设计人员及使用者的注意，通常把它作为小产品，只注意它的外观装饰作用而忽略了它的使用功能。其实，回风口的过滤器性能可以保持空调、净化环境符合要求，尤其是像IC工厂洁净室这样本身作为AMC污染主要源头的环境。有效的改善和控制净化空调一次回风口，是确保后续的高效过滤器效能和送风质量满足生产加工工艺环境的重要条件。 

常见形式及问题 
国内IC厂净化空调一次回风主要有以下两种： 
1. 一次回风空调系统：新风与回风混合再经温湿度处理形式（图1）； 
2. 一次回风空调系统：新风单独作温湿度处理形式（图2）。 
从下图可以看出，两种形式都是空气经过与室内污染物稀释后再被吸回到回风管，经回风管作简单的过滤处理后直接与外部进来的OA新风混合再进入AHU净化空调。目前许多工业用洁净室空调系统的主流应用形式就是这两种，主要是从技术经济意义上考虑，而问题恰恰就出现在这里。IC工厂的洁净室内存在许多化学药品，所以它本身产生的污染（特别是对晶圆加工工艺质量影响较大的AMC污染）成为最主要的源头之一。而如果在重新利用之前，不加以控制，那么就容易造成交叉式二次污染，导致净化空调高效过滤器（化学过滤器）前污染浓度上升，影响高效过滤器（化学过滤器）的过滤效能，最终使洁净室内加工环境受到破坏，危害产品的质量。 

AMC净化现状 
经调查，目前国内的空调、净化场所的回风口及其过滤系统通常只有几种简单的形式： 
1. 回风口加一层尼龙网； 
2. 回风口加一只多层金属网制成的过滤器； 
3. 回风口则无任何过滤。