造成泄漏的原因主要有两方面：一是由于机械加工的结果，机械产品的表面必然存在各种缺陷和形状及尺寸偏差，因此，在机械零件连接处不可避免的会产生间隙;二是密封两侧存在压力差，工作介质就会通过间隙而泄漏。消除或减少任一因素都可以阻止或减少泄漏。就一般设备而言，减小或消除间隙是阻止泄漏的主要途径。 　　对于真空系统的密封，除上述密封介质直接通过密封面泄漏外，还要考虑下面两种泄漏形式：(5.真空系统的泄漏形式) 　　1.渗漏。即在压力差作用下，被密封的介质通过密封件材料的毛细血管的泄漏称为渗漏; 　　2.扩散。即在浓度差作用下，被密封的介质通过密封间隙或密封材料的毛细管产生的物质传递称为扩散。在真空系统中习惯称为”6.密封材料的放气”。首先密封件通过吸附作用吸收气体，气体在密封件中扩散，从密封件的另一侧析出。真空密封的漏放气量与密封型式、密封材料、密封面加工精度及装配质量等因素有关。