摘要： 　0引言　电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，由于它具有灵敏度高、功耗低、温度漂移小等优点，因此广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。MEMS(微电子机械系统)传感器体积小的特点决定了敏感电容器的电容值不可能大，一般为pF量级，而由这些物理量引起的微电容的变化更加微小，一般为fF甚至aF量级。如此小的变化量对检测电路的设计是一个挑战