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力晶取得美国专利局核发US 7465632专利

来源:华强电子网 作者:华仔 浏览:324

标签:

摘要: 力晶半导体公司昨日发布公告称该公司取得美国专利局核发的US 7465632专利。该专利描述了一种埋入式掺杂区的形成方法,包括:首先提供一衬底,在衬底上形成第一绝缘层。之后,图案化第一绝缘层以形成往第一方向延伸的开口,在开口所暴露的衬底中形成埋入式掺杂区。然后,在衬底上形成第二绝缘层,此第二绝缘层填满开口,并与第一绝缘层构成为第三绝缘层。然后,图案化第三绝缘层以形成一隔离层,并暴露衬底及埋入式掺杂区

力晶半导体公司昨日发布公告称该公司取得美国专利局核发的US 7465632专利。

该专利描述了一种埋入式掺杂区的形成方法,包括:首先提供一衬底,在衬底上形成第一绝缘层。之后,图案化第一绝缘层以形成往第一方向延伸的开口,在开口所暴露的衬底中形成埋入式掺杂区。然后,在衬底上形成第二绝缘层,此第二绝缘层填满开口,并与第一绝缘层构成为第三绝缘层。然后,图案化第三绝缘层以形成一隔离层,并暴露衬底及埋入式掺杂区,此隔离层往第二方向延伸,而第二方向与第一方向交错。在衬底上形成半导体层填满隔离层两侧区域。本发明因先形成埋入式掺杂区,再于其上形成隔离层,故可降低植入离子的能量。

型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67