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摘要: 力晶半导体公司昨日发布公告称该公司取得美国专利局核发的US 7465632专利。该专利描述了一种埋入式掺杂区的形成方法,包括:首先提供一衬底,在衬底上形成第一绝缘层。之后,图案化第一绝缘层以形成往第一方向延伸的开口,在开口所暴露的衬底中形成埋入式掺杂区。然后,在衬底上形成第二绝缘层,此第二绝缘层填满开口,并与第一绝缘层构成为第三绝缘层。然后,图案化第三绝缘层以形成一隔离层,并暴露衬底及埋入式掺杂区
该专利描述了一种埋入式掺杂区的形成方法,包括:首先提供一衬底,在衬底上形成第一绝缘层。之后,图案化第一绝缘层以形成往第一方向延伸的开口,在开口所暴露的衬底中形成埋入式掺杂区。然后,在衬底上形成第二绝缘层,此第二绝缘层填满开口,并与第一绝缘层构成为第三绝缘层。然后,图案化第三绝缘层以形成一隔离层,并暴露衬底及埋入式掺杂区,此隔离层往第二方向延伸,而第二方向与第一方向交错。在衬底上形成半导体层填满隔离层两侧区域。本发明因先形成埋入式掺杂区,再于其上形成隔离层,故可降低植入离子的能量。
型号 | 厂商 | 价格 |
---|---|---|
EPCOS | 爱普科斯 | / |
STM32F103RCT6 | ST | ¥461.23 |
STM32F103C8T6 | ST | ¥84 |
STM32F103VET6 | ST | ¥426.57 |
STM32F103RET6 | ST | ¥780.82 |
STM8S003F3P6 | ST | ¥10.62 |
STM32F103VCT6 | ST | ¥275.84 |
STM32F103CBT6 | ST | ¥130.66 |
STM32F030C8T6 | ST | ¥18.11 |
N76E003AT20 | NUVOTON | ¥9.67 |