摘要： 　　利用三步共蒸发法制备铜铟硒薄膜太阳电池中的吸收层CIGS薄膜，采用多种测试手段，研究其成分比例与薄膜的电阻率、载流子浓度、表面粗糙度之间的关系．电阻率为10^2～10^3Q?cm之间，是Cu、Ⅲ族元素、Se配比较为合适的区域，载流子浓度在10^15～10^16cm^-3范围内，薄膜表面粗糙度是随着Cu/（Ga＋In）比呈下降趋势，Cu越多，表面越光滑，当Cu/（Ga＋In）比超过1.25以后，变化趋势逐渐减弱．当Cu/（Ga＋In）比在1．0附近时，粗