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首页> 技术资讯> 国内首台直写式光刻机在合肥问世

国内首台直写式光刻机在合肥问世

来源：<a href='http://bbs.hqew.com/viewthread.php?tid=284601' target='_blank'>xiexiaolao</a> 作者：华仔 浏览：2898

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摘要： 12月25日，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。图为科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。

12月25日，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。图为科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。

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