全球最大的光掩膜设备供应商Micronic Laser System公司日前在上海召开的一场光掩膜技术研讨会上介绍了该公司刚刚发布的两款用于液晶面板生产线的掩膜用激光图形描绘仪。在新闻发布会上，该公司产品管理高级副总裁Jonas Hasselberg声称，属于Prexision平台的这两款新设备将是“Micronic Laser System有史以来最大的技术提升”。1989年成立的Micronic总部位于瑞典首都斯德哥尔摩北部的Taby。该公司1993年向亚洲地区付运了第一台激光图形描绘仪，并与1995年首次进入中国市场。

Hasselberg表示，由于液晶面板的主要产能目前都聚集在了亚洲地区，因此Micronic有近90%的营收都来自这个市场。他介绍说，除了欧洲总部和设在美国的分公司外，该公司其他的分支机构大都设立在了包括中国大陆、中国台湾、日本、韩国在内的远东地区。


在液晶面板的生产流程中，激光图形描绘仪担任的是量产与设计之间的桥梁作用。CAD设计首先被转成数据文件，然后再经由激光图形描绘仪和步进式光刻机，才能形成最终的TFT面板。


“显示器产业已经开始向第十代液晶面板开始进军。”Hasselberg说，“基材尺寸正在变得越来越大，夏普已经正式宣布了其第十代面板工厂的建设计划，新一代工厂生产的3×3m2面板有望帮助实现65英寸液晶的大规模生产，并将推动42英寸液晶的进一步降低。不过，这同时也将成为面板产业有史以来最大规模的投资，如何在大尺寸基材上提高良率、降低成本，才是产业最为关心的话题。”


新推的Prexision-10就是针对夏普年中发布的十代厂而开发的。据称，除了大幅提高了LCD所用到的光掩膜的精度和质量之外，相对于目前的产品生产力和可靠性也大大提高了。据称，Micronic已经接到了来自日本的两台Prexision-10订单。该公司总裁兼执行总监Sven Lofquist表示，这是Micronic成立以来所接到的最大订单。第一台Prexision-10将于明年下半年交付客户使用。


Prexision-10市场上的初战告捷意味着该公司将继续在接近1,000亿美元的显示器领域扮演领导者的角色。不过，在瞄准10代技术的同时，其兄弟产品Prexision-8也同时推出。据悉通过旋转等流程，Prexision-8的用户能够借助一些细微的调整来改善良率。Prexision-8还能够向下兼容8代以下的各代液晶生产线。


上述两款Prexision平台产品都是基于LRS系列而建立的。不过，与现有的LRS15000相比，其在光感尺寸精度(CD)控制和位置校准精度上都分别提高了30%和50%，并在消除色斑不均衡引起的云纹现象上有了显著改善。此外，新设备的单位时间内的吞吐量也比LRS15000 -TFT3高出60%，比LRS15000 -TFT2高出20%。