据EE Times网站报道，2006年，光刻设备市场创造了新的纪录。据The Information Network的调查数据显示，该市场去年的销售总额再创新高达到了67亿美元。分析师预测，光刻市场2007年将增长11%，达到74亿美元；而到2008年，该市场有望再度经历高速成长，销售额进一步增长38%至102亿美元。

The Information Network的总裁Robert N. Castellano指出，2006年半导体光刻设备行业的营收实现了40%的惊人增长，大大高于整个半导体前段设备市场23%的增长率。这其中，光刻设备的出货量则增长了22%，而平均售价则增长了15%。

据悉，荷兰光刻设备制造商ASML在这一市场的份额由2005年的53.3%增加到了2006年的60.8%，排名第二的Nikon则占据了24.5%的市场份额。

按照销售台数计算，浸没式深紫外（DUV）光刻设备的销售量由2005年的7台迅速爬升至2006年的29台，至于KrF（氟化氪）光刻系统则占据该市场出货量的30%。

相关链接（英文）：
http://www、eetimes、com/news/semi/showArticle、jhtml?articleID=197000924