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美国研究小组试制出非极性面GaN衬底 可提高GaN器件的特性

来源:SEMI中国 作者:—— 浏览:618

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摘要: 据日经BP社报道,美国Kyma Technologies与美国北卡罗来纳州立大学的研究小组从c面GaN底板上切下m面,使其再生长,试制出了m面GaN衬底。并在2007年9月16-21日于美国拉斯维加斯举行的“ICNS-7”上进行了发布。 GaN结晶m面是一种非极性面。所谓非极性面是指与GaN结晶通常使用的c面互相垂直的面。GaN系LED、半导体激光器、高频元件以及电源电路的开关元件等,通常使用G

据日经BP社报道,美国Kyma Technologies与美国北卡罗来纳州立大学的研究小组从c面GaN底板上切下m面,使其再生长,试制出了m面GaN衬底。并在2007年9月16-21日于美国拉斯维加斯举行的“ICNS-7”上进行了发布。

GaN结晶m面是一种非极性面。所谓非极性面是指与GaN结晶通常使用的c面互相垂直的面。GaN系LED、半导体激光器、高频元件以及电源电路的开关元件等,通常使用GaN结晶的c面。使用非极性面的话,估计可以提高GaN系半导体元件的特性。比如,发光元件,有可能提高发光效率。因此,近来关于非极性面的研发非常活跃,对非极性面衬底的要求也越来越高。除该小组外,日本三菱化学也在致力于非极性衬底的研发。

此次的试制品通过使从GaN结晶(沿c轴方向生长)上切下的m面GaN衬底再生长而实现。c轴方向和m轴方向的生长均利用了HVPE法。切下m面之后利用CMP进行了研磨,尺寸为4mm×8mm,位错密度为每平方厘米105-106。

 

 

型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67