爱思强股份有限公司日前宣布，由欧盟委员会提供资金的TECHNOTUBES（晶圆级碳纳米管技术）项目取得圆满成功，并演示了新型自动化生长设备BM 300T。

爱思强BM 300T 碳纳米管系统

这个为期三年的项目旨在开发碳纳米管的生长工艺、自动化设备、质量控制／监测和多种终端应用。合作参与项目的成员包括剑桥大学（协调人）、苏黎世联邦理工学院、丹麦理工大学、柏林理工大学、Fritz Haber 研究所、意大利国家研究理事会、飞利浦公司、泰雷兹集团、剑桥CMOS 传感器公司、IMEC 和爱思强。

TECHNOTUBES 项目团体

来自剑桥大学的项目协调人John Robertson 教授评价说：“这是一个独一无二的项目，集合了业界和科研界的世界一流机构，从生长设备、材料制造到可用设备，打造出一条基于碳纳米管的价值链。该项目研究成功的应用领域主要包括连接器产品、导热材料、医疗及安保X 光光源、气体探测器、生物探针、微流体技术和新型能源存储装置。衷心感谢欧盟委员会为此项目提供资金支持，令我们的研究得以顺利开展。”

爱思强纳米仪器（Nanoinstruments）部门主管Ken Teo 博士补充说：“我们的职责就是制造用于沉积各种碳纳米管结构的设备，以满足这些应用领域的要求。最大的挑战就是将多种生产工艺（单壁结构、多壁结构、支线垂直纳米管等）整合到同一个平台之中，为工业生产的合作伙伴提供所需的统一、稳定、高度自动化的生产设备。我们所研发的BM 300T 系统成功满足了上述标准，结合热学和等离子沉积技术、前体活化技术和新型的晶圆装载和加热系统，令高通量的晶圆级碳纳米管生产成为可能。”